Fe/Mo多層膜的微觀結(jié)構(gòu)與應(yīng)力研究

本文采用電子束蒸鍍技術(shù)制備了Fe/Mo金屬多層膜,利用TEM等手段研究了Fe與Mo層厚度對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)應(yīng)力的影響.Fe與Mo層厚度相差較大而Fe單層膜厚薄到1.2 nm時(shí),較薄的Fe在較厚的Mo層上外延生長(zhǎng).隨著Mo厚度的變薄,Mo/Fe厚度比減少,Mo層沒(méi)有足夠的自由能約束Fe原子,Fe層形成穩(wěn)定的bcc結(jié)構(gòu).當(dāng)Fe外延生長(zhǎng)在Mo層上時(shí),晶格畸變導(dǎo)致鐵鉬層間產(chǎn)生很大的應(yīng)力,使得薄膜出現(xiàn)均勻的細(xì)微裂紋.用胡克定律估算了其應(yīng)力范圍,約104MPa數(shù)量級(jí).

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號(hào)： O484.2  關(guān)鍵詞： Fe/Mo多層膜   微結(jié)構(gòu)   應(yīng)力  

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