直流等離子體法中脫膜開裂的金剛石膜組織結(jié)構(gòu)分析

為了解決用直流等離子體噴射法制備金剛石膜在脫膜過程中膜體開裂的問題,本文對3組脫膜開裂的金剛石膜組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析,發(fā)現(xiàn)由熱應(yīng)力作用產(chǎn)生的裂紋形貌隨沉積溫度的不同而呈現(xiàn)網(wǎng)狀、河流狀和環(huán)狀,裂紋尖端的膜體具有最小的Raman 譜峰半高寬值.在所研究的溫度范圍內(nèi),膜體斷口都是穿晶斷裂和沿晶斷裂的混合斷口,而且斷口面中的占優(yōu)晶面都是{111}晶面.X射線和Raman譜結(jié)果還表明沉積溫度愈高,膜體中的殘余應(yīng)力愈大.

作 者： 陳廣超 李成明 張恒大 楊膠溪 佟玉梅 唐偉忠 呂反修   作者單位： 北京科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,北京,100083  刊 名： 人工晶體學(xué)報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS  年，卷(期)： 2003 32(5)  分類號： O484  關(guān)鍵詞： 金剛石膜   裂紋   組織   晶面   直流等離子體噴射  

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