電子回旋共振等離子體用于聚四氟乙烯材料表面改性

在電子回旋共振(ECR)等離子體裝置中,使用Ar氣,N2氣,H2氣和普通空氣放電,對(duì)聚四氟乙烯(PTFE)材料進(jìn)行表面處理以提高其表面粘結(jié)性能.詳細(xì)研究了在不同的放電氣壓,微波功率,處理時(shí)間,氣體種類的情況下,樣品表面的接觸角的變化.同時(shí)也討論了樣品導(dǎo)電性能和外觀等的變化.使用紅外吸收譜對(duì)樣品結(jié)構(gòu)處理前后的變化進(jìn)行了測(cè)量,對(duì)等離子體處理的機(jī)理進(jìn)行了初步的討論.使用Langmuir探針測(cè)量了Ar氣和N2氣等離子體中的離子密度,用能量分析器測(cè)量了離子的能量.發(fā)現(xiàn)在對(duì)樣品的處理中,ECR等離子體的離子密度是影響表面性能的主要因素,離子能量的作用不明顯.

作 者： 溫曉輝 詹如娟   作者單位： 中國(guó)科學(xué)院結(jié)構(gòu)分析開放實(shí)驗(yàn)室,中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系,安徽合肥,230026  刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(5)  分類號(hào)： O539  關(guān)鍵詞： 電子回旋共振等離子體   表面改性   聚四氟乙烯   離子密度   離子能量  

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