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γ-LiAlO2晶體的生長缺陷研究
γ-LiAlO2晶體是一種非常有前途的GaN襯底材料,本文利用化學腐蝕光學顯微術(shù)和同步輻射X射線形貌術(shù)研究了LiAlO2晶體的缺陷.結(jié)果表明,提拉法生長的γ-LiAlO2晶體中的缺陷主要為位錯、包裹物和亞晶界.并發(fā)現(xiàn)在其(100)晶片上的腐蝕形貌兩面有較大差異.
作 者: 楊衛(wèi)橋 干福熹 鄧佩珍 徐軍 李杼智 蔣成勇 作者單位: 中國科學院上海光學精密機械研究所,上海,201800 刊 名: 人工晶體學報 ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS 年,卷(期): 2002 31(6) 分類號: O774 關(guān)鍵詞: γ-LiAlO2晶體 缺陷 位錯 同步輻射X射線形貌術(shù) GaN襯底【γ-LiAlO2晶體的生長缺陷研究】相關(guān)文章:
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