螺旋波等離子體的密度與離子能量分布的診斷

螺旋波等離子體是一種高密度的低溫、低氣壓等離子體.這種等離子體在超大規(guī)模集成電路工藝、微機電系統(tǒng)加工、新型薄膜材料及納米材料制備、材料表面改性以及氣體離子激光器等方面具有廣泛的應用前景.本文采用一套球柵阻滯場帶通式能量分析器,對螺旋波等離子體在工藝室擴散區(qū)樣品架表面的特性進行了一些初步的實驗研究,主要測試了在樣品附近的等離子體在其表面上所形成的離子流密度(從而導出等離子體密度)以及入射離子的能量分布,并對這些參數(shù)隨射頻輸入功率的變化進行了研究.研究發(fā)現(xiàn),在螺旋波等離子體的擴散區(qū),離子能量分布的寬度比用離子溫度預期的值大得多,本文定性地討論了其原因.

作 者： 江南 王志強 趙寧 李春茂   作者單位： 江南(中國科學院物理所,北京,100080)

王志強,趙寧,李春茂(東南大學電子工程系,南京,210096) 

刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(2)  分類號： O53  關鍵詞： 螺旋波   等離子體   離子能量分布  

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