微機械陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀

隨著對微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進展,屬于MEMS研究內(nèi)容之一的微機械陀螺,在汽車工業(yè)需求的推動下,已經(jīng)成為過去幾十年內(nèi)廣泛研究和發(fā)展的主題.微機械陀螺與傳統(tǒng)機械式陀螺、固體陀螺、光學(xué)陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量輕、可靠性高等優(yōu)點,其精度正不斷得到提高,應(yīng)用領(lǐng)域也隨之不斷擴大.本文首先簡要介紹了微機械陀螺的定義及特征、性能指標(biāo)、工作原理、分類以及加工技術(shù),隨后對己出現(xiàn)的不同類型微機械陀螺的結(jié)構(gòu)、加工方式、工作原理以及性能進行了綜述,最后對微機械陀螺的商業(yè)化現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢進行了展望.

作 者： 李新剛 袁建平   作者單位： 西北工業(yè)大學(xué)航天工程學(xué)院,西安,710072  刊 名： 力學(xué)進展  ISTIC PKU 英文刊名： ADVANCES IN MECHANICS  年，卷(期)： 2003 33(3)  分類號： V2  關(guān)鍵詞： MEMS   微機械   陀螺   哥氏加速度   加工  

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